周波数の温度依存性が低減した、弾性波で動作する素子、およびその製造方法

Abstract

周波数の温度依存性が改善されかつハイパワー耐性が向上した、弾性波で動作する素子を開示する。これらの特性を実現するために、前記素子は、下部付着層と電極層と上部付着層と補償層とトリミング層とを有する積層体を含む。

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